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超高速EtherCAT實時運動控制卡在高速半導(dǎo)體固晶機上的應(yīng)用
深圳市正運動技術(shù)有限公司
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正運動動圖.gif

市場應(yīng)用背景

核心半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化是解決“卡脖子”技術(shù)、保障國家戰(zhàn)略安全的關(guān)鍵。在政策與下游需求推動下,國產(chǎn)設(shè)備需求激增。半導(dǎo)體固晶機是封裝核心設(shè)備,其運動控制設(shè)備決定了高速高精度貼裝晶圓芯片的性能,對實現(xiàn)定位、對準(zhǔn)、粘接等關(guān)鍵步驟至關(guān)重要。

本篇文章主要介紹超高速實時運動控制卡XPCIE1032H在高速半導(dǎo)體固晶機上的應(yīng)用,可快速了解正運動技術(shù)XPCIE1032H超高速實時運動控制卡的使用。

傳統(tǒng)控制系統(tǒng)方案

傳統(tǒng)方案一(以PLC為核心):

方案一.png

采用PLC+觸摸屏+工控機+機器視覺。其弊端在于運動控制與機器視覺調(diào)試需在PLC屏和PC屏間切換,操作繁瑣。且PLC受掃描周期限制,響應(yīng)慢,與PC通訊數(shù)據(jù)交互速率低,導(dǎo)致設(shè)備整體產(chǎn)能較低。

傳統(tǒng)方案二(以運動控制卡為核心):

方案二.png

采用PCI運動控制卡+工控機+機器視覺。運動控制卡集成于工控機內(nèi),通過高速PCI接口與視覺通訊,數(shù)據(jù)交互快,單屏調(diào)試簡便,顯著提升取晶固晶運動的速度與精度,最終實現(xiàn)更高UPH產(chǎn)能。

正運動技術(shù)解決方案

正運動技術(shù)方案以工控機+XPCIE1032超高速運動控制卡+機器視覺為核心,提升產(chǎn)能與穩(wěn)定性。

正運動方案.png

采用Windows實時內(nèi)核技術(shù),將運動控制、IO等處理置于CPU核內(nèi)執(zhí)行,與PC機器視覺的命令下發(fā)和讀取通過CPU內(nèi)存交互,交互速度比傳統(tǒng)PCI/PCIe運動控制卡快數(shù)十倍,比PLC網(wǎng)口數(shù)據(jù)交互50-100倍+,相比傳統(tǒng)運動控制卡或者PLC方案,整體效率提升6%-20%+。

01 超高速實時運動控制卡XPCIE1032H在高速半導(dǎo)體固晶機上的應(yīng)用

正運動高速半導(dǎo)體固晶機解決方案架構(gòu)

正運動高速半導(dǎo)體固晶機解決方案架構(gòu).png

1.16DI:連接原點和限位光電、傳感器、開關(guān)輸入等信號;

2.16DO:連接電磁閥吸取、破真空和視覺飛拍等信號;連接兩個相機;

3.EtherCAT接口:125us EtherCAT同步周期,連接固晶擺臂軸、固晶上下料、藍膜頂針軸、銀膠點膠軸、載帶基板送料軸以及其他共計12個伺服和步進軸;同時擴展EtherCAT IO模塊。

固晶機工藝運行原理

固晶機工藝.png

固晶機由取料、推料、點膠、擺臂、固晶平臺、藍膜頂針平臺、夾具及出料等機構(gòu)組成,集成了高速精密定位、視覺定位與氣動吸取等光機電技術(shù)。核心控制步驟如下

01.視覺定位:

識別晶圓芯片與載帶基板位置

02.點膠:

在載帶基板指定位置進行精確點涂銀膠

03.貼裝:

擺臂吸取晶圓芯片并精準(zhǔn)放置于點膠位置

固晶擺臂運動控制.png

MotionRT750運動控制實時內(nèi)核,獨占x86 CPU內(nèi)核

產(chǎn)品接線圖.png

XPCIE1032超高速運動控制卡搭載Windows實時內(nèi)核MotionRT750,采用Windows非實時層+MotionRT750實時層的雙系統(tǒng)架構(gòu)。實時層確保運動控制不受Windows波動/抖動影響,保障高精度與穩(wěn)定性;非實時層無縫對接VS/CAD/CAM等豐富Windows應(yīng)用,極大提升開發(fā)調(diào)試效率。

MotionRT750.png

指令交互周期快至us級

XPCIE1032超高速運動控制卡搭載Windows運動控制實時內(nèi)核MotionRT750,直接利用PC中CPU/內(nèi)存計算,大幅提升函數(shù)執(zhí)行效率與響應(yīng)速度,從而顯著提高固晶機UPH產(chǎn)能。

通過C#、C++等語言的開發(fā)實測,結(jié)果顯示其通訊速度遠超傳統(tǒng)PCI/PCIE卡方案和PLC網(wǎng)口交互方案,整體產(chǎn)能提升明顯。

通訊速率對比.png

在相同測試環(huán)境下,經(jīng)50次直線電機往復(fù)運動及1000次IO翻轉(zhuǎn)測試,MotionRT750方案控制周期比傳統(tǒng)PCI通信縮短約2500ms,效率提升超17.1%。

通訊速率對比實測界面圖.png

運動控制周期快至50us

XPCIE1032超高速實時運動控制卡搭載Windows實時內(nèi)核MotionRT750,進行16軸或32軸EtherCAT總線控制時,EtherCAT通訊同步周期可縮短至125μs,運動控制周期更可快達50μs,顯著提升EtherCAT通訊效率。

XPCIE系列產(chǎn)品接線圖.png

在固晶等精密運動控制應(yīng)用中,能實現(xiàn)更快、更平穩(wěn)的運動軌跡規(guī)劃。相比傳統(tǒng)脈沖控制卡,其接線更簡潔,維護更便捷。

更穩(wěn)定、更安全、更可靠

工業(yè)自動化設(shè)備需滿足7*24小時連續(xù)運行要求,任何異常停機都將造成重大損失。XPCIE1032超高速運動控制卡搭載Windows運動控制實時內(nèi)核MotionRT750,通過EtherCAT總線冗余與PC故障隔離技術(shù),構(gòu)建高可靠控制系統(tǒng),無懼Windows藍屏影響,為工業(yè)生產(chǎn)提供穩(wěn)定、安全的保障。

EtherCAT總線冗余技術(shù):

通訊鏈路故障自動切換,顯著降低由斷線導(dǎo)致的停機風(fēng)險,32軸可快至125us穩(wěn)定運行。

EtherCAT冗余.png

PC級故障硬隔離:

無懼Windows藍屏影響,當(dāng)Windows系統(tǒng)發(fā)生藍屏或崩潰時,MotionRT750實時內(nèi)核仍可持續(xù)獨立運行,急停按鈕也可正常生效,保障工藝生產(chǎn)的安全。

PC級故障硬隔離.png

正運動高速半導(dǎo)體固晶機工藝運行流程圖

正運動高速半導(dǎo)體固晶機工藝運行流程圖.png

方案應(yīng)用優(yōu)勢總結(jié)

API.png

1.統(tǒng)一API,開發(fā)靈活:支持多種上位機語言開發(fā),所有系列產(chǎn)品均可調(diào)用同一套API函數(shù),讓用戶開發(fā)更靈活。

2.突破實時瓶頸,運行穩(wěn)定高效:徹底解決傳統(tǒng)PCI/PCIE卡在Windows環(huán)境下控制系統(tǒng)的非實時性問題,保障設(shè)備高效、穩(wěn)定運行。

3.極速響應(yīng),顯著提升產(chǎn)能:基于核內(nèi)交互技術(shù),指令響應(yīng)達微秒級,較傳統(tǒng)PCI/PCIE方案快數(shù)十倍。實測UPH提升至單頭22K,雙頭43K,整體生產(chǎn)效率提升10%以上。

4.多通道飛拍,縮短周期:配備16路獨立硬件位置比較輸出,支持多工位視覺飛拍同步執(zhí)行,有效縮短機臺CT。

5.智能運動控制,動作流暢精準(zhǔn):集成SS曲線加減速、拱形運行及在線變速功能,實現(xiàn)“軟著陸”,確保取晶/固晶動作更流暢、柔和、精準(zhǔn)。

硬件選型配置

硬件選型配置.png


 

02 XPCIE1032H運動控制卡產(chǎn)品介紹

XPCIE1032H運動控制卡.png

1.6-64軸EtherCAT總線+脈沖可選,其中4路單端500KHz脈沖輸出,方便接脈沖驅(qū)動;

2.32軸EtherCAT同步周期125us,支持多卡聯(lián)動;

3.板載16點通用輸入,16點通用輸出,其中8路高速輸入和16路高速輸出;

4.支持PWM輸出、精準(zhǔn)輸出、PSO硬件位置比較輸出、視覺飛拍等;

5.支持直線插補、圓弧插補、連續(xù)軌跡加工(速度前瞻)、高階SS曲線加減速;

6.支持電子凸輪、電子齒輪、位置鎖存、同步跟隨、虛擬軸、螺距補償?shù)裙δ埽?/p>

7.支持30+機械手模型正逆解模型算法,比如SCARA、Delta、UVW、4軸/5軸 RTCP...

為了幫助您更好地、更快速的開發(fā)和應(yīng)用基于超高速實時運動控制卡XPCIE1032H開發(fā)的高速半導(dǎo)體固晶機解決方案,我們準(zhǔn)備了詳細的說明文檔。進一步了解其使用方法、參數(shù)配置及實際應(yīng)用案例,聯(lián)系電話400-089-8936。

二維碼.png

正運動技術(shù)專注于運動控制技術(shù)研究和通用運動控制軟硬件產(chǎn)品的研發(fā),是國家級高新技術(shù)企業(yè)。正運動技術(shù)匯集了來自華為、中興等公司的優(yōu)秀人才,在堅持自主創(chuàng)新的同時,積極聯(lián)合各大高校協(xié)同運動控制基礎(chǔ)技術(shù)的研究,是國內(nèi)工控領(lǐng)域發(fā)展最快的企業(yè)之一,也是國內(nèi)少有、完整掌握運動控制核心技術(shù)和實時工控軟件平臺技術(shù)的企業(yè)。主要業(yè)務(wù)有:運動控制卡_運動控制器_EtherCAT運動控制卡_EtherCAT控制器_運動控制系統(tǒng)_視覺控制器__運動控制PLC_運動控制_機器人控制器_視覺定位_XPCIe/XPCI系列運動控制卡等等。


 

狀 態(tài): 離線

公司簡介
產(chǎn)品目錄

公司名稱: 深圳市正運動技術(shù)有限公司
聯(lián) 系 人: 戴德弟
電  話: 0755-32976042
傳  真: 0755-2606 6955
地  址: 深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)洲石路陽光工業(yè)園A1棟5樓
郵  編: 518100
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