注:本公司在天津,北京,山東地區(qū)均設(shè)有安裝施工團(tuán)隊(duì)及售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),為您的安全生產(chǎn)和良好體驗(yàn)保駕護(hù)航
應(yīng)用:
KOFLOC 3660 質(zhì)量流量控制器是一款以小緊湊、成本較低,設(shè)計(jì)精密。用于不同的領(lǐng)域,從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目到各種分析儀器、真空裝置的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種,發(fā)揮了很好的實(shí)際效果。

特性:
1.搭配改良型恒定電流溫差的流量傳感器,實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)
2.采用安全方向工作的常閉閥
3.通過螺線管傳動(dòng)器確保產(chǎn)品的高度可靠性
4.可控制燃燒氣體的低差壓(LP備選)
5.另有針對(duì)PM2.5設(shè)備特制品:流量16.7L/MIN,低壓差15Kpa既可,特價(jià)供應(yīng),高性價(jià)比
模型 |
3660 |
流量范圍 |
10SCCM~20SLM(可選) |
(N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM) |
傳感器方式 |
熱繞組傳感器 |
閥門方法 |
比例螺線管閥門(未通電時(shí)關(guān)閉) |
控制范圍(* 1) |
2~100%(F.S.) |
響應(yīng)速度 |
在2秒內(nèi) |
(在±2%F.S.內(nèi)) |
準(zhǔn)確性 |
±1.0%F.S.(25°C) |
溫度系數(shù) |
±0.1%F.S./°C(15~35°C) |
再現(xiàn)性 |
±0.5%F.S. |
操作壓差 |
F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) |
F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) |
可選:中壓差壓規(guī)格(MP),低壓差規(guī)格(LP)可根據(jù)條件制造 |
壓力(* 1) |
980kPa(G) |
He泄漏率(* 2) |
1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
允許周圍溫度 |
5~45℃ |
允許環(huán)境濕度 |
10~90%RH(無結(jié)露) |
氣體接觸材料 |
主體SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼 |
閥座FKM(選件CR或NBR) |
密封材料FKM(選件CR或NBR) |
電氣連接 |
Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)(符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)) |
流量設(shè)定 |
0~5VDC |
輸入信號(hào) |
(輸入阻抗1MΩ以上) |
流量輸出信號(hào) |
0~5 VDC(外部負(fù)載電阻250kΩ以上) |
所需電源 |
+15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA |
接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900 |
(體型) |
(9 / 16.18 UNF) |
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選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等 |
重量 |
約1000g |
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