應(yīng)用領(lǐng)域：生物產(chǎn)業(yè),電子/電氣/通訊/半導(dǎo)體,制藥/化妝品,汽車及零部件,涂料
應(yīng)用：
DF-500系列 全金屬質(zhì)量流量控制器適合于半導(dǎo)體工藝、腐蝕性氣體質(zhì)量、流量高準(zhǔn)確度
特性：
1.采用新型電磁閥，提升了響應(yīng)性，實(shí)現(xiàn)了整個(gè)區(qū)域1秒鐘以內(nèi)高速響應(yīng)
2.采用不銹鋼密封材質(zhì)，可支持高反應(yīng)性氣體
3.10SCCM~10SLM的產(chǎn)品陣容
4.配備了2個(gè)通信端口，支持菊花鏈
5.標(biāo)準(zhǔn)配備了RS-485通信功能
6.支持ROHS、CE規(guī)格
| 傳感器方式 |
熱繞組傳感器 |
| 閥門方式 |
比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） |
| 目標(biāo)氣體（* 1） |
N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 |
| （未記載的氣體換算成N2進(jìn)行校正） |
| 流量范圍（* 2） |
10 SCCM~10 SLM |
| 控制范圍 |
2~100％（F.S.） |
| 響應(yīng)能力 |
總流量控制范圍 1sec內(nèi)（wihtin±2％F.S.） |
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa |
| 精度（* 3） |
±1.0%F.S. |
| 再現(xiàn)性 |
±0.25%F.S. |
| 工作壓差（* 4） |
50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa） |
| 最大入口壓力 |
500kPa(G) |
| 耐壓 |
980kPa(G) |
| He泄漏率 |
1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 |
| 溫度 |
使用溫度 |
5～50℃ |
| 精度保證溫度 |
15～35℃ |
| 允許儲(chǔ)存溫度 |
-10～60℃ |
| 允許環(huán)境濕度 |
10～90%RH （無結(jié)露） |
| 氣體接觸材料 |
SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co |
| 電氣連接 |
D-sub 9針KFC Standard（依據(jù)SEMI standard），RJ-45模塊化插孔x 2 |
| 流量設(shè)定信號(hào) |
0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） |
| 流量輸出信號(hào) |
0~5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ以上） |
| 數(shù)字通信 |
使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：最多99臺(tái)（9600 bps） |
| 所需電源（DC） |
+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA |
| 接頭 |
相當(dāng)于1/4 VCR |
| 安裝姿勢 |
推薦水平方向 |
| 重量（* 9） |
約1100g |
注：本公司在天津，北京，山東地區(qū)均設(shè)有安裝施工團(tuán)隊(duì)及售后服務(wù)團(tuán)隊(duì)，為您的安全生產(chǎn)和良好體驗(yàn)保駕護(hù)航
