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現(xiàn)如今，科技發(fā)展的腳步快到你難以想象，世界已然邁入了電子信息化時(shí)代，無論是在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域還是消費(fèi)應(yīng)用當(dāng)中，嵌入式都是未來電子應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)展的大勢(shì)所趨。提到這一領(lǐng)域，想必大家對(duì)MEMS傳感器技術(shù)都不陌生，Aigtek今天想給各位工程師們科普的主角就是它，一起接著往下看吧~
什么是MEMS傳感器
MEMS是Micro Electro Mechanical System的縮寫，簡稱微機(jī)電系統(tǒng)，是按功能要求在芯片上把微電路和微機(jī)械集成于一體的系統(tǒng)。MEMS基于光刻、腐蝕等傳統(tǒng)半導(dǎo)體技術(shù)，融入超精密機(jī)械加工，并結(jié)合力學(xué)、化學(xué)、光學(xué)等學(xué)科知識(shí)和技術(shù)基礎(chǔ)，使得一個(gè)毫米或微米級(jí)的MEMS具備精確而完整的機(jī)械、化學(xué)、光學(xué)等特性結(jié)構(gòu)。
MEMS傳感器及局部顯微放大
MEMS傳感器工作原理
MEMS產(chǎn)品主要可以分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器，其中傳感器是用于探測(cè)和檢測(cè)物理、化學(xué)、生物等現(xiàn)象和信號(hào)的器件，而執(zhí)行器是用于實(shí)現(xiàn)機(jī)械運(yùn)動(dòng)、力和扭矩等行為的器件。
MEMS傳感器分類
MEMS傳感器的應(yīng)用
MEMS傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域很廣泛，是獲取信息和實(shí)現(xiàn)交互的關(guān)鍵器件，它有效的推動(dòng)了機(jī)械系統(tǒng)的微型化，目前MEMS傳感器已應(yīng)用于汽車電子、消費(fèi)電子、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)等眾多領(lǐng)域。
應(yīng)用案例：MEMS光柵應(yīng)用測(cè)試
MEMS光柵是一種運(yùn)用硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能，實(shí)現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用。但在實(shí)際工作時(shí)需要增大驅(qū)動(dòng)電壓，驅(qū)動(dòng)電壓甚至達(dá)到上百伏，因此想要保證MEMS光柵工作性能可靠，性能優(yōu)越的驅(qū)動(dòng)放大器是關(guān)鍵。
作為國內(nèi)測(cè)試儀器的民族品牌，Aigtek安泰電子始終走在領(lǐng)域前沿，旗下自主研發(fā)生產(chǎn)的ATA-2000系列高壓放大器擁有DC-1MHz的帶寬，200Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型MEMS相關(guān)應(yīng)用的動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)研發(fā)測(cè)試的理想選擇。
同時(shí)該系列功率放大器，可輸出理想的單端及差分信號(hào)，并設(shè)計(jì)了良好的過壓，過流，短路保護(hù)裝置，同時(shí)為了更好的為MEMS測(cè)試客戶應(yīng)用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，方便用戶選擇對(duì)應(yīng)的匹配阻抗。
ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào)，通過0.1的步進(jìn)對(duì)于信號(hào)進(jìn)行精準(zhǔn)放大，方便用戶調(diào)試。同時(shí)具有100:1的信號(hào)監(jiān)控口，方便用戶實(shí)時(shí)觀測(cè)輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡單易懂。
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