在CCD工業(yè)相機中,其動態(tài)范圍、靈敏度和信噪比是互相影響的三個指標,它們從三個不同的角度來反映CCD工業(yè)相機的性能。而填充比(Fill Factor)和勢阱容量(Well Capacity)是與相機動態(tài)范圍相關的重要參數(shù)。在一個像元所占有的整個區(qū)域內,對入射光敏感的區(qū)域只占總區(qū)域的一部分,光敏感面積和像元總面積之比即為填充比。這是因為在一個像元區(qū)域內,除對入射光敏感的區(qū)域外,尚有與敏感區(qū)相配合的單元,例如在隔行轉移型(ILT)結構的CCD中,每一個像元都有一個模擬移位寄存器和一個轉移柵與光敏二極管放在一起,用來轉移光敏區(qū)的電荷,如下圖所示。這部分非光敏區(qū)域被不透光的薄膜所覆蓋,使其不受外來光線的打擾。由于CCD的靈敏度是和填充比成正比的,所以填充比直接反映了CCD的靈敏度。

為了充分擴大低填充比CCD的有效的受光面積,特別是在ILT結構中,使用一個微小的凸透鏡蓋在每一個像元上,如上圖中右邊部分所示,以便增加有效的填充比例。但是,這種微小的透鏡對紫外線部分有較大的衰減。
這是像元光敏二極管勢阱收集并保存電荷的容量的一個參數(shù),勢阱容量給出了CCD對強光源無飽和感應的能力,同時給出了CCD動態(tài)范圍的上限。一般情況下,像元面積和填充比例越大,CCD靈敏度越高,勢阱容量也越高。所以勢阱容量是一個很重要的參數(shù),它是CCD動態(tài)范圍的決定性因素之一。
|