FS1015系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學(xué)用氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
專為呼吸機(jī)和麻醉機(jī)的流量計(jì)量需求而設(shè)計(jì)
高靈敏度，應(yīng)用熱式質(zhì)量流量計(jì)原理可測(cè)量最低至8mm/sec的流體流量
無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損
傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復(fù)使用
自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計(jì)提高了測(cè)量精度
主機(jī)設(shè)備上的用戶界面可輕松實(shí)現(xiàn)線性輸出
FS1015氣體質(zhì)量流量傳感器參數(shù)：
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品
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FS1015CL
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單位
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流量范圍
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0~150
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SLPM
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精度
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±(1.5±0.1FS)
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%
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重復(fù)性
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±0.75
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%
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響應(yīng)時(shí)間
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10（Max.）
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msec
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工作電壓
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5±1%
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Vdc
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輸出方式
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線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc
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最大壓損
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500
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Pa
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最大工作壓力
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0.2
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MPa
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工作溫度
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-10~55
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oC
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儲(chǔ)存溫度
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-20~65
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oC
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工作濕度
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<95(無結(jié)冰、無凝露)
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%RH
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機(jī)械接口
（入口:外;出口:內(nèi)）；
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ISO-15
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