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產(chǎn)品名稱：
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FS5001微小流量計(jì)，空氣流量計(jì)
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型 號：
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FS5001
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價(jià) 格：
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品 牌：
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產(chǎn)品簡介： FS5000系列專為普通氣體的監(jiān)控而設(shè)計(jì)。由于我公司的信號跟蹤檢定能力設(shè)計(jì)，該傳感器可直接測量流體質(zhì)量�？蓚蓽y最低流速為20 nL／min的流體。傳感器可應(yīng)用于多氣流管道的測量、泄漏偵測，HVAC控制，凈化空氣或氮?dú)獗O(jiān)控，環(huán)境設(shè)備如空氣采樣機(jī)、分析儀器如GC分光儀。FS5001可設(shè)定為可測滿量程為1-1000 sc c m（1 SLPM），并可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制。該產(chǎn)品可即插即用，具有多種用途。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
�。瓕榱髁扛櫆y量而設(shè)計(jì)，測流量最低可達(dá)20nL／min
�。ǹ谑皆O(shè)計(jì)可應(yīng)用于多氣道
�。焖夙憫�(yīng)時(shí)間有利于精密測量的應(yīng)用
�。诜治鲈O(shè)備表現(xiàn)卓越，如：GC分光儀
－多樣化的可調(diào)節(jié)方式可輕松應(yīng)用于不同環(huán)境
�。瓋�(nèi)置安全插件可適用于更多的應(yīng)用中
FS5001微小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸：
技術(shù)參數(shù)：
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FS5001
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量程范圍
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0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制
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sccm
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量程比
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>100：1
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精度
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±(1.5±0.2FS)
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%
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重復(fù)性
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±0.75
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%
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零點(diǎn)輸出飄逸
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±30
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mV
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輸出飄逸
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0.16
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%/oc
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響應(yīng)時(shí)間
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100(默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置)
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ms
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
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最大流量壓損
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900
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Pa
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最大流量壓力
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0.8
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MPa
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工作溫度
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-5~+45
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oC
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存儲溫度
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-20~+55
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oC
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工作濕度
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<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
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機(jī)械接口
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M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊)
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校準(zhǔn)方式
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空氣(或其他氣體)，20oC,101.325kPa
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重量
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17.5
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g
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