一、激光干涉儀功能特點(diǎn)
- 測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
- 具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能�？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測(cè)量。
- 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。
- 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
- 內(nèi)置各種類國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（國(guó)際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)�？梢罁�(jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測(cè)量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
- 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
- 測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
- 安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。
二、激光干涉儀技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
- 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
- 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
- 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
- 工作溫度范圍：0~40℃
- 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
- 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
- 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
- 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
- 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
- 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
- 測(cè)量距離：0-40m
- 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
- 測(cè)量分辨率：1nm
- 測(cè)量最大速度：4m/sec
三.激光干涉儀配置清單
- SJ6000主機(jī)：1臺(tái)
- 環(huán)境補(bǔ)償單元：1臺(tái)
- 光學(xué)鏡組：
線性測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小型線性光學(xué)鏡組：1套（標(biāo)準(zhǔn)配置）
小角度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
直線度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
垂直度測(cè)量光學(xué)鏡組：1套（選配）
平面度測(cè)量輔助附件：1套（選配）
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量精密轉(zhuǎn)臺(tái)：1套（選配）
- 測(cè)量軟件：1套
- 便攜式筆記本電腦：1臺(tái)
- 便攜式儀器配件箱：1個(gè)
- 通用三腳架：1個(gè)
- 云臺(tái)附件：1套
- 磁性表座：2套
- 產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)：1套
- 產(chǎn)品合格證、保修卡：1套
- 免費(fèi)保修：1年
