一、激光干涉儀SJ6000功能特點(diǎn)簡(jiǎn)介
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國(guó)高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。
②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦�，更符合�?guó)內(nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價(jià)比高
性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。
二、 激光干涉儀的功能有以下幾方面：
1.自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償。激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的位置精度，而且還能通過(guò)RS232接口使計(jì)算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)通信，對(duì)誤差進(jìn)行自動(dòng)補(bǔ)償。它比通常的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量的時(shí)間，同時(shí)可最大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到最佳精度。
2.回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定�；剞D(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定可對(duì)數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)在任意角度位置，以任意測(cè)量間隔進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量及補(bǔ)償。
3.機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)試與評(píng)估。利用中圖動(dòng)態(tài)特征測(cè)量與評(píng)估軟件，可用干涉儀進(jìn)行杌床振動(dòng)測(cè)試與分析、滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析、伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析、導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等，從而幫助用戶對(duì)機(jī)器源進(jìn)行分析。
4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能。利用觸發(fā)脈沖輸入，可實(shí)現(xiàn)外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù)，從而可實(shí)現(xiàn)類似于激光絲杠動(dòng)態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動(dòng)鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出，可用激光干涉儀定時(shí)或定距發(fā)出脈沖，從而實(shí)現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能。
5.其他用戶接口裝置。可用中圖公司提供的特殊接口軟件，對(duì)于現(xiàn)有某些品牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶，配合中圖激光干涉儀校準(zhǔn)軟件，實(shí)現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測(cè)，從而節(jié)省用戶投資費(fèi)用。
1.激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供可靠依據(jù)。
2.激光干涉儀配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、 平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。
3.激光干涉儀可方便地安裝在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上，取代原測(cè)長(zhǎng)機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。
4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位精度大為提高。
5.激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃工作。
6.激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長(zhǎng)度—角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測(cè)量系統(tǒng)
