圖爾克基于RFID系統(tǒng)的自動(dòng)化晶圓倉(cāng)庫(kù)管理
圖爾克的BL ident RFID系統(tǒng)幫助中國(guó)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)協(xié)調(diào)基于機(jī)器人的中間庫(kù)拾取與放置
一家全球領(lǐng)先的中國(guó)半導(dǎo)體廠商在晶圓封裝測(cè)試過程中遇到了難題。這些敏感元器件必須在下一工序之前儲(chǔ)存在物料貨架上。該工序之前都依靠人工搬運(yùn)在制品,并通過紙質(zhì)料單進(jìn)行記錄。這不僅耗時(shí),而且易出錯(cuò),只能跟蹤很小一部分物料流。該工廠急需可靠且高效的自動(dòng)化解決方案。
因此,客戶目前在倉(cāng)儲(chǔ)管理上使用RFID技術(shù)來實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確無誤且透明的生產(chǎn)。RFID載碼體儲(chǔ)存物料信息,貨架頂部的讀寫頭識(shí)別RFID載碼體來監(jiān)測(cè)拾放物料期間晶圓的儲(chǔ)存位置。因此,必要時(shí)可立即找到所有儲(chǔ)存的晶圓。
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RFID載碼體位于晶圓載具的頂部RFID載碼體位于晶圓載具的頂部
圖爾克BL20 RFID和I/O系統(tǒng)確保了與PLC的可靠通訊
物料貨架頂部的RFID高頻讀寫頭可在物料拾放期間讀取晶圓載具的載碼體
基于機(jī)器人的RFID解決方案
特制的高性能搬運(yùn)機(jī)器人在將未處理晶圓自動(dòng)化加工成集成電路的過程中發(fā)揮了重要作用。這些自動(dòng)導(dǎo)引車(AGV)帶有集成的機(jī)械手臂,可以自動(dòng)導(dǎo)航并保證可靠處理不同工藝車間的元器件。在與一家中國(guó)機(jī)器人公司的合作過程中,圖爾克開發(fā)了一套完整的RFID解決方案,可使用AGV進(jìn)行物料運(yùn)輸。該解決方案可顯著減少晶圓的供應(yīng)時(shí)間,并充分減少該工序的工作量。倉(cāng)儲(chǔ)管理系統(tǒng)將RFID的信息與生產(chǎn)控制系統(tǒng)(MES)的信息關(guān)聯(lián)在一起,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所有晶圓。
BL ident RFID解決方案贏得認(rèn)可
圖爾克的BL20網(wǎng)關(guān)非常適合整潔的生產(chǎn)環(huán)境。它可將現(xiàn)場(chǎng)RFID和I/O模塊采集的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)發(fā)至更高層級(jí)的控制器。RFID載碼體固定在晶圓載具的頂端。安裝在晶圓貨架頂部的RFID讀寫頭會(huì)自動(dòng)識(shí)別載具,從而保證在AGV拾放物料期間的可靠識(shí)別。
LED顯示器可始終清晰提供有關(guān)讀寫頭和RFID模塊的工作狀態(tài)信息。由于讀寫頭讀取距離較大,機(jī)械手臂有足夠的空間拾取和放置載具。載碼體的環(huán)氧樹脂外殼防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP68,即使表面有劃痕、污漬,也不會(huì)影響正常識(shí)讀。此外,載碼體可以重復(fù)利用,這對(duì)于閉環(huán)應(yīng)用而言非常合適。張亦?同樣對(duì)其他優(yōu)勢(shì)印象深刻:“預(yù)制電纜可以快速安裝,保證安全的數(shù)據(jù)傳輸??偟膩碚f,圖爾克的RFID產(chǎn)品可以在運(yùn)行期間快速更換,因此可以顯著減少停機(jī)時(shí)間,并使設(shè)備維護(hù)變得簡(jiǎn)單快速。”