助力實(shí)現(xiàn)無(wú)磨損晶圓輸送

　　XPlanar 系統(tǒng)是一款集傳統(tǒng)輸送技術(shù)諸多優(yōu)點(diǎn)于一身的平面磁懸浮產(chǎn)品輸送系統(tǒng)，可在半導(dǎo)體設(shè)備制造中為在一個(gè)工具內(nèi)以及在幾臺(tái)設(shè)備之間處理晶圓及其它產(chǎn)品提供了各種全新的選擇：XPlanar 系統(tǒng)的動(dòng)子/托盤(pán)運(yùn)動(dòng)是非接觸式的，不會(huì)產(chǎn)生機(jī)械磨損。

　　針對(duì)特定應(yīng)用布局機(jī)器設(shè)備

　　XPlanar 系統(tǒng)為用戶根據(jù)自己的個(gè)性化需求布局機(jī)器設(shè)備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面，比如矩形、圓形或樹(shù)狀結(jié)構(gòu)，幾乎無(wú)任何限制。機(jī)器設(shè)備的布局可以完全根據(jù)用戶要求的功能設(shè)計(jì)，XPlanar 系統(tǒng)的大小可以完全根據(jù)用戶的要求調(diào)整，幫助用戶避免額外的費(fèi)用支出，節(jié)省寶貴的生產(chǎn)空間。

　　柔性無(wú)磨損工件輸送系統(tǒng)

　　動(dòng)子托盤(pán)按照單獨(dú)定義的路線輸送每個(gè)工件。各個(gè)生產(chǎn)步驟可以根據(jù)需要相互銜接，使得固定的工位序列成為過(guò)去。每個(gè)動(dòng)子托盤(pán)的運(yùn)動(dòng)相互間可以完全解耦：產(chǎn)品可以相互超車(chē)，并且可以在不影響生產(chǎn)流程的情況下從產(chǎn)品流中撤出或進(jìn)入等候區(qū)（例如，用于冷卻）。由于在一個(gè)系統(tǒng)中提供了不同尺寸的動(dòng)子托盤(pán)，因此可以同時(shí)生產(chǎn)不同規(guī)格的產(chǎn)品。XPlanar 系統(tǒng)具有卓越的動(dòng)態(tài)性能和機(jī)器人的高精度，是處理不同批量大小和產(chǎn)品規(guī)格變化的高效定位系統(tǒng)。動(dòng)子托盤(pán)根據(jù)為每個(gè)產(chǎn)品單獨(dú)定義的復(fù)雜 XY 幾何圖形運(yùn)動(dòng)。

　　大幅減少清潔和維護(hù)工作量

　　XPlanar 系統(tǒng)的一大特點(diǎn)就是它能夠大幅減少清潔和維護(hù)工作量。與傳統(tǒng)的輸送系統(tǒng)相比，XPlanar 不需要使用導(dǎo)軌、滑輪或潤(rùn)滑系統(tǒng)。系統(tǒng)所需的定期維護(hù)間隔時(shí)間大幅減少，從而可以顯著提高系統(tǒng)的可用性。系統(tǒng)的另外一個(gè)優(yōu)勢(shì)是：所有平面模塊和動(dòng)子托盤(pán)表面都非常光滑，沒(méi)有死角。為了在特別苛刻的環(huán)境中使用，XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質(zhì)，方便清潔，無(wú)需使用任何清潔劑，也不會(huì)影響動(dòng)子托盤(pán)的懸浮性能。

     關(guān)于德國(guó)倍福

　　倍福（Beckhoff）是一家專(zhuān)注于自動(dòng)化新技術(shù)的德資企業(yè)，創(chuàng)立于 1980 年，總部位于德國(guó)威爾市。作為全球自動(dòng)化技術(shù)的驅(qū)動(dòng)者，倍福定義了自動(dòng)化領(lǐng)域的許多標(biāo)準(zhǔn)，是國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的制定者和推動(dòng)者。公司所生產(chǎn)的工業(yè) PC、現(xiàn)場(chǎng)總線模塊、驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品和 TwinCAT 自動(dòng)化軟件構(gòu)成了一套完整的、相互兼容的控制系統(tǒng)，可為各個(gè)工控領(lǐng)域提供開(kāi)放式自動(dòng)化系統(tǒng)和完整的解決方案。經(jīng)過(guò) 40 年的發(fā)展和努力，倍福已在世界各地設(shè)立 30 多家分支機(jī)構(gòu)，加上全球的合作伙伴，業(yè)務(wù)遍及 70 多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。

　　倍福于 1997 年進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)，中國(guó)區(qū)總部落戶于上海市北高新產(chǎn)業(yè)園區(qū)，現(xiàn)有員工 300 人，辦事處遍及國(guó)內(nèi) 30 座大中城市。創(chuàng)新產(chǎn)品和解決方案廣泛應(yīng)用于風(fēng)力發(fā)電、半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、電子制造、金屬加工、包裝機(jī)械、印刷機(jī)械、塑料加工、輪胎加工、木材加工、玻璃機(jī)械、物流輸送以及樓宇自動(dòng)化等眾多領(lǐng)域。

　　公司傾力推廣的 EtherCAT 實(shí)時(shí)工業(yè)以太網(wǎng)于 2014 年成為中國(guó)國(guó)家推薦性標(biāo)準(zhǔn)，并已入編工信部的《國(guó)家智能制造標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)指南》。作為一家技術(shù)驅(qū)動(dòng)型公司，倍福一直注重在技術(shù)上尋求突破創(chuàng)新，在業(yè)內(nèi)享有“創(chuàng)新引擎”的美譽(yù)。倍福基于 PC 的控制技術(shù)具有良好的開(kāi)放性，它支持所有主流的工業(yè)通信協(xié)議，將 IT 技術(shù)、互聯(lián)網(wǎng)和自動(dòng)化技術(shù)完美融合在一起，為實(shí)現(xiàn)工業(yè) 4.0 和智能制造奠定了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。

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