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微壓力傳感器的工作原理，是將壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線(xiàn)路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。那么微壓力傳感器在工業(yè)實(shí)踐中的特點(diǎn)是什么呢?
微壓力傳感器是一個(gè)很重要的分支，對(duì)于微壓力傳感器來(lái)說(shuō)，更能體現(xiàn)傳感器的靈敏度和線(xiàn)性度。其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、液壓機(jī)械、除塵設(shè)備等眾多行業(yè)。
微壓力傳感器的用途的十分廣泛的，目前微壓力傳感器的量程還不夠小，靈敏度和線(xiàn)性度也不是很好，所以微壓力傳感器還不能得到很好的應(yīng)用，隨著科技的發(fā)展，微壓力傳感器的應(yīng)用前景將會(huì)進(jìn)一步拓展。
靈敏度和線(xiàn)性度是壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿(mǎn)足實(shí)際應(yīng)用需求的壓力傳感器，必需探索出一種壓力傳感器靈敏度和線(xiàn)性度的有效仿真方法。提供了一種基于對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法，從而實(shí)現(xiàn)了在滿(mǎn)量程范圍內(nèi)不同壓力值下對(duì)傳感器電壓輸出值的精確估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對(duì)壓力傳感器的靈敏度和線(xiàn)性度進(jìn)行了有效仿真。
微壓傳感器發(fā)展迅速，新研制出的一類(lèi)傳感器由于采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，并內(nèi)置前置放大器，放大微弱信號(hào)并實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類(lèi)傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號(hào)的檢測(cè)，因此，迫切需要一種簡(jiǎn)便的測(cè)量裝置測(cè)量傳感器的性能。
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