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MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時(shí)變形�？梢岳脩�(yīng)變儀(壓阻型感測(cè))來(lái)測(cè)量這種形變，也可以通過(guò)電容感測(cè)兩個(gè)面之間距離的變化來(lái)加以測(cè)量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)使用比較結(jié)實(shí)的壓阻方法。
汽車(chē)產(chǎn)業(yè)仍然是MEMS壓力傳感器的最大應(yīng)用領(lǐng)域，占其銷(xiāo)售額的72%，其次是醫(yī)療電子占12%，工業(yè)領(lǐng)域占10%，消費(fèi)電子與軍用航空占據(jù)其余的6%市場(chǎng)。
在汽車(chē)領(lǐng)域，引擎管理是其主要應(yīng)用，包括汽油發(fā)動(dòng)機(jī)中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車(chē)中的共軌壓力傳感器，尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況，有些組織也在研究可以在汽缸內(nèi)工作的壓力傳感器，以更好地測(cè)量參與化學(xué)反應(yīng)的各種物質(zhì)的準(zhǔn)確比例，并把數(shù)據(jù)反饋給引擎管理系統(tǒng)。
由于工作環(huán)境惡劣，汽車(chē)傳感器的價(jià)格比消費(fèi)類(lèi)傳感器高得多。另外，汽車(chē)傳感器需要較長(zhǎng)的鑒定時(shí)間，而且這些傳感器必須能可靠工作長(zhǎng)達(dá)15年的時(shí)間。有些傳感器，比如剎車(chē)或輪胎壓力傳感器，對(duì)于汽車(chē)安全至關(guān)重要。
MEMS壓力傳感器在汽車(chē)中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測(cè)，通常用于自動(dòng)裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動(dòng)系統(tǒng)。德國(guó)廠商博世最近進(jìn)入該市場(chǎng)，推出了一款MEMS解決方案，使用油來(lái)保護(hù)硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來(lái)巨大變化，當(dāng)時(shí)使用的是多孔硅，帶來(lái)了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。
在醫(yī)療市場(chǎng)，壓力傳感器主要充當(dāng)外科手術(shù)使用的一次性低成本導(dǎo)管。但它們也用于昂貴的設(shè)備之中，在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機(jī)中感測(cè)壓力與差流。這些器件潛力巨大，可能在2015年以后成為可植入傳感器�？芍踩雮鞲衅鞑恍枰姵鼐湍芄ぷ鳎梢杂糜谛呐K測(cè)量和監(jiān)測(cè)青光眼。
在工業(yè)領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)(HVAC)、水平面測(cè)量、各種工業(yè)過(guò)程與控制應(yīng)用。例如，除了精確的高度氣壓測(cè)量，飛機(jī)使用傳感器監(jiān)測(cè)引擎、襟翼等其它部件。
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