|
分子增壓泵是基于拖動原理的高真空泵，同時具有優(yōu)良的中真空臭氣能力，是我國擁有獨立知識產(chǎn)權(quán)的新一代真空泵，雖然姍姍來遲，但面對蓬勃發(fā)展的真空技術(shù)領(lǐng)域，正趕上了大好時機。分子增壓泵的問世，使得廣大的真空技術(shù)用戶能再豐富多彩的泵種增加了選擇的機會。為了更好地為真空產(chǎn)業(yè)服務，特將該泵與有悠久歷史的渦輪分子泵從工作原理上做簡單介紹。
一、渦輪分子泵和分子增壓泵的相同點和不同點
1、 共同點：
渦輪分子泵和分子增壓泵都是高真空泵，極限真空，都工作在很高的轉(zhuǎn)速下，都有很高的壓縮比，所有都可以獲得清潔真空。
2、 不同點：
目前國內(nèi)生產(chǎn)的以及絕大部分國外生產(chǎn)的渦輪分子泵都是立式泵，而分子增壓泵
是臥式泵，臥式泵對共振的控制比立式難度大，分子增壓泵的工作壓力和排氣流量均比渦輪分子泵高出很多，可以達到數(shù)百帕；渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子是由渦輪葉片構(gòu)成，而分子增壓泵的轉(zhuǎn)子是由平圓盤構(gòu)成；渦輪分子泵工作在分子流狀態(tài)，而分子增壓泵可以工作在分子流和過度流狀態(tài)。
二、渦輪分子泵和分子增壓泵的工作原理
1、渦輪分子泵的工作原理
渦輪分子泵的傳輸幾率原理就是使得氣體分子沿某方向容易通過，而反反方向難以通過，這樣造成氣體分子從兩邊通過它的傳輸幾率不同，這樣氣體分子便會堆積傳輸幾率小的一方，形成壓力差。任何一種能使氣體從低壓向高壓流動的手段都可以形成一中抽氣作用，渦輪分子泵就是依靠結(jié)構(gòu)兩邊傳輸幾率的差異來產(chǎn)生抽氣能力的。
2、分子增壓泵的工作原理
分子增壓泵的抽氣的原理是把直線運動轉(zhuǎn)化為圓周運動來達到拖動的目的，為此，分子增壓泵的抽氣級的靜輪（又稱堵片）為空心金屬圓環(huán)上由多條弧形金屬分割成六個螺旋通道。
三、分子增壓泵的特點
由分子增壓泵工作機理和結(jié)構(gòu)決定了該泵具有一系列特點供人矚目。
1、工作壓力高。
2、分子增壓泵開始抽氣便進入所謂“橫流量“工作模式中真空有很高的抽氣效率。
3、節(jié)省了羅茨增壓泵。
4、分子增壓泵對前級泵的抽速要求較低。
5、很強的抗高壓強甚至大氣的沖擊能力。
6、軸承尺寸小，機械軸承的壽命超過2萬小時。
|
