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檢漏儀雖多種多樣，但通常都主要由探頭、探測器和泵體三部分組成，當(dāng)大氣中有SF6氣體時，探頭借助真空泵的抽力將SF6氣體吸進(jìn)并進(jìn)入探測器二極管產(chǎn)生電暈放電，使得二級管電極的電流減小，電流減小的信號通過電子線路變換成一種可以聽得到見得著的聲、光報警信號，泄漏量越大，聲光信號越強(qiáng)烈鹵素氣體均可使檢漏儀發(fā)出警報。
武漢恒新國儀生產(chǎn)的SF6型檢漏儀中探測器的工作原理如圖所示。
當(dāng)探測器中水銀燈電源合上，1849Å波長的紫外線通過陽極網(wǎng)照射在陰極上，產(chǎn)生光電子，當(dāng)待測氣體進(jìn)入陰陽極析之間時，氣體中的O2和SF6被其間產(chǎn)生光電子結(jié)合成O－2和SF－6形式，這些離子按照各自的速度移動，從而在二極板之間產(chǎn)生電磁場。利用O－2和SF－6的移動速度不同，引起電子流量的變化，從而可通過測試電阻檢測SF6的含量。
檢測分定性和定量兩種。
（1）泄漏的定性查找。無論何種型號的檢漏儀，測量前應(yīng)將儀器調(diào)試到工作狀態(tài)，有些儀器根據(jù)工作需要可調(diào)節(jié)到一定的靈敏度，然后拿起探頭，仔細(xì)探測設(shè)備外部易泄漏部位及檢漏口，根據(jù)檢測儀所發(fā)出的聲光報警信號及儀器指針的偏轉(zhuǎn)度來確定泄漏位置及粗略濃度，也可以進(jìn)行定量檢查。
SF6斷路器，易漏部位主要是：
1）對220kVSF6高壓斷路器，各檢測口、焊縫、SF6氣體充氣嘴、法蘭連接面、壓力表連接管和滑動密封底座；
2）對35kV和10kVSF6斷路器，SF6氣體充氣嘴、操作機(jī)構(gòu)、導(dǎo)電桿環(huán)氧樹脂密封處及壓力表連接管路。
（2）泄漏的定量測試：
1）掛瓶檢漏法。武漢恒新國儀SF6斷路器在各法蘭接合面等處留有檢測口，檢測口與密封圈外側(cè)槽溝相通，能夠收集密封圈泄漏時的SF6氣體，當(dāng)定性檢查發(fā)現(xiàn)泄漏口有SF6氣體泄漏時，可在檢測口進(jìn)行掛瓶測量。
根據(jù)原水電部科技公司和機(jī)械部電工局規(guī)定的檢漏標(biāo)準(zhǔn)，掛瓶檢漏（額定壓力為588kPa時），漏氣率不得超過0.26Pa·ML/s。
檢漏瓶為1000mL塑料瓶，掛瓶前將檢測口螺絲卸下，歷時24h，使得檢漏口內(nèi)積聚的SF6氣體排掉，然后進(jìn)行掛瓶。掛瓶時間為33min，再用檢漏儀檢查瓶中的SF6氣體濃度。
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