MF6600系列氣體質量流量計應目前市場需求而開發(fā),采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。長久以來,轉子流量計大量應用于低成本的氣體過程控制,但其采用光電數字轉換的方式已不能滿足對于精度、成本和數字化技術的發(fā)展要求。MF6600在機械安裝尺寸上兼容轉子流量計,實現(xiàn)高精度質量流量測控和多種數字遠傳及電池供電選項
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