MFC2000系列質(zhì)量流量控制器采用公司專有的MEMS Thermal-D操作TM熱量傳感技術(shù)與智能控制電子設(shè)備，這種獨(dú)特的質(zhì)量流量傳感技術(shù)消除了一些擴(kuò)散率相似的氣體的氣體敏感性，并允許在編程后進(jìn)行氣體識(shí)別。本產(chǎn)品可用于動(dòng)態(tài)范圍為100:1的過程控制，其控制范圍為0.1至1MPa（15至150 PSI）的壓力和0至50℃的補(bǔ)償溫度。該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)便于更換機(jī)械連接器，標(biāo)準(zhǔn)連接器為NPT1/8'至1/2'，其他定制連接器可根據(jù)要求提供。
