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產(chǎn)品型號(hào)
技術(shù)參數(shù)
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JKZC-UC6
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JKZC-UC8 JKZC-UC12
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探針臺(tái)本體
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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整機(jī)尺寸（mm）
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780L*580W*680H
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830L*610W*680H
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950L*730W*680H
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重量
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85kg
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125kg
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175kg
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卡盤大小
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6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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8",360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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12", 360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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卡盤XY軸行程
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6"*6"，精度 10um
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8"恪"，精度10um
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12"*12"，精度 10um
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卡盤氣浮移動(dòng)范圍
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360度快速移動(dòng)，便于快速定位，提高測試效率
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卡盤材質(zhì)
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不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
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卡盤拉出功能
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卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80%,便于更換樣品
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卡盤吸附方式
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真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
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背電極測試功能
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卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
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腔體
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帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜
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其他功能
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帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí)
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溫控
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溫度范圍
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-100~200°C - 80~200°C
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-60~2000°C
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溫控精度
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溫度分辨率：0.01°C
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加熱電源
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LVJKZC-DCH低壓直流
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最低控溫速率
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±0.1℃
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制冷方式
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液氮制冷（自動(dòng)控溫）
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針座平臺(tái)
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材質(zhì)
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0型平臺(tái)，Q235鍍鎳，帶接地端子
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大小
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最多可放置8個(gè)探針座 最多可放置10個(gè)探針座
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最多可放置14個(gè)探針座
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兩段式升降平臺(tái)
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探針平臺(tái)可以快速升降，行程3mm；可以上下微調(diào)，行程40mm,升降精度lum
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顯TH系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X-200X/40X-280X/20X-4000X
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顯微鏡行程
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具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸P英寸，精度lum
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CCD成像系統(tǒng)
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2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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探針座
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種類
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絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
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X¥Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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機(jī)械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夾具
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漏電精度
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同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA
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接口形式
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
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其它
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選件
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屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng)
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電力需求
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220V/50HZ
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