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產(chǎn)品型號(hào)

技術(shù)參數(shù)

JKZC-DM4

JKZC-DM6

JKZC-DM8

探針臺(tái)臺(tái)體

主體材料

航空鋁

航空鋁

航空鋁

整機(jī)尺寸（mm）

500L*380W*520H

550L*420W*520H

600L*480W*520H

重量

30kg

35kg

50kg

自適應(yīng)減震系統(tǒng)

自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過(guò)濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾

卡盤大小

4英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)

6英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)

8英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)

卡盤XY軸行程

4英寸*4英寸，精度10um

6英寸*6英寸，精度10um

6英寸*6英寸，精度10um

卡盤Z軸行程

快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度丄微米（選件）

卡盤材質(zhì)

不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻

卡盤吸附方式

真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）

背電極測(cè)試功能

卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能

其它功能

帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級(jí)

針座平臺(tái)

材質(zhì)

U型平臺(tái)，Q235鍍療，帶接地端子

大小

最多可放置4個(gè)探針座

最多可放置6個(gè)探針座

最多可放置8個(gè)探針座

顯7F系統(tǒng)

顯微鏡類型

體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)

倍率范圍

16X~200X/40X~280X

調(diào)焦范圍

50.8mm

顯微鏡移動(dòng)

顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu)，帶顯示器支架

CCD成像系統(tǒng)

2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能

探針座

種類

絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座

X-Y-Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

機(jī)械精度

0.5um/0.7um/2um

夾具

漏電精度

同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA

接口形式

同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻系統(tǒng)/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬(wàn)向支架等

電力需求

220V/50HZ