簡(jiǎn)介
5822i離子風(fēng)機(jī)的精巧設(shè)計(jì)是配合高端自動(dòng)化制程設(shè)備內(nèi)緊密的空間條件，和嚴(yán)格的靜電防控要求，尤其適用于硬盤制造和半導(dǎo)體后段封測(cè)工業(yè)。它能維持<±3 V 的離子平衡，又可接連外置回饋系統(tǒng)以達(dá)至<±1 V 的 效能。內(nèi)置的離子平衡自動(dòng)修正系統(tǒng)，能確保目標(biāo)對(duì)象在控制中，減少維修次數(shù)和降低操作成本。配置的氣流定向器，無(wú)須更多的空間，也能把平衡的離子直接吹到目標(biāo)。
特點(diǎn)
±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達(dá)至±1 V)
設(shè)備監(jiān)控接口和聲響報(bào)警
外置控制盒
符合潔凈度 ISO 14644-1 Class 4
優(yōu)點(diǎn)
直送吹風(fēng)設(shè)計(jì)能改善離子吹送和靜電控制
對(duì)產(chǎn)品錯(cuò)誤能作出快速反應(yīng)
允許更彈性的安裝位置，又能維持效能
適合在高要求的微污染控制環(huán)境使用
定向氣流
氣流定向器疊加在風(fēng)機(jī)上，把氣流直接吹向目標(biāo)，就算在比較遠(yuǎn)的工作距離，也可避免離子分散和互相結(jié)合的問題，維持優(yōu)越的消散時(shí)間。
選配的回饋系統(tǒng)
5822i離子風(fēng)機(jī)的選配外接感應(yīng)器，可接連Novx Process Monitor 7000系列，Novx 被動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)3352系列，和Novx主動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)3362系列，作出檢測(cè)和自動(dòng)調(diào)整離子平衡。把天線放到目標(biāo)位置，信號(hào)會(huì)回饋到 5822i 的控制線路，以達(dá)至和維持離子平衡在±1 V 或更好的效能。
規(guī)格參數(shù)
輸入電壓：24 VDC@1 A 外置 (100-240 VAC，50 / 60 Hz) 電源供應(yīng)器或設(shè)備供電
消散時(shí)間：2-2.5 秒@ (1000-100 V，30 cm 工作距離)
離子平衡：<±3 V，連接外置感應(yīng)器：<±1 V (典型)
電離技術(shù)：穩(wěn)態(tài)直流電離
靜電針材質(zhì)：鎢合金，每組 8 根/風(fēng)扇；選配鈦金屬針
符合潔凈度：ISO 14644-1 Class 4
控制：離子平衡，選配的外接感應(yīng)器的增益調(diào)整，電源 / 風(fēng)扇開關(guān) slow (可調(diào)) off / fast
LED顯示：控制盒：電源-綠，報(bào)警-紅
