高純氣體露點變送器特點：
在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 高純氣體露點儀變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的首個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
高純氣露點儀的亮點：
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● 安裝簡便
● 高度的穩(wěn)定性和重復性
● 測量范圍最低達-120°C露點，相當 于〈1 ppbV
● 最佳精確度為±1°C露點
● 4~20mA及RS 485輸出
● 半導體工業(yè)表面處理和清潔 |
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| [ 高純氣體露點儀技術(shù)參數(shù) ] |
| 傳感器 |
類 型：密析爾先進的陶瓷濕度變送器
測量范圍：-120~-40°C 露點 (標定-100~-40°C)
精 度：-60~-40 范圍為±1°C
-100~-60 范圍為±2°C
-120~100 范圍為±4°C(估)
分 辨 率：-80~-40范圍為0.1°C
-100~-80 范圍為1°C
-120~-100 范圍為 1~3°C
額定壓力：最低為10-9torr；最高為 24MPa
氣體流量：1~5 NL/min |
| 電子電路 |
電 源：額定24VDC，10V min，28V max，25 mA max
輸 出：4~20mA可調(diào)，使用提供的界面軟件調(diào)節(jié)范圍
1~80°C
最大負載=1kΩ (28VDC 時)
最小負載=200Ω(10VDC 時)
出錯狀態(tài)顯示：
23mA＝變送器故障 20mA＝超過測量范圍；
4mA＝小于測量范圍
這些設(shè)置能通過提供的軟件界面進行調(diào)整 |
| 機械結(jié)構(gòu) |
探 頭：冷拉不銹鋼，內(nèi)部0.1-0.2μmRa鐳電鍍拋光
氣體連接口：優(yōu)阻Premium和OEM 型－1/4"外螺紋VCR
連接
樸若 Pura變送器－1/2"外螺紋VCR連接
安 裝：優(yōu)阻Premium和OEM：
安裝方式為工業(yè)標準120mm間距，另有2個M4
螺孔，0.7 螺距，孔深7mm，孔間距20mm
樸若 Pura變送器：
裝入用戶的 1/2"VCR連接口
外形尺寸：優(yōu)阻Premium和 OEM：120x35x150mm
樸若Pura變送器：132x35mm
重 量：優(yōu)阻Premium和 OEM：450g
樸若Pura變送器：180g
包 裝：樸若Pura雙層包裝，UHP 惰性氣體密封
樸若Pura OEM 和樸若Pura 變送器：單層包裝
全部選項：運輸時各個產(chǎn)品選件均有泡沫塑料襯墊保護，外
包裝為紙板箱，變送器探頭表面裝有護套，防止
運輸和裝卸過程損壞 | |
