濕度變送器Pura Plus產(chǎn)品簡(jiǎn)介
新型的
Pura Plus是
密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)對(duì)于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的最新需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。
Pura Plus是一款
在線微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中
Pura Plus能夠提供快速的響應(yīng)指示，在20 ppb濕氣級(jí)別下1 ppb的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。
濕度變送器Pura Plus產(chǎn)品特點(diǎn)
對(duì)ppb級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)
高靈敏度 ，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念
小巧經(jīng)濟(jì)
信號(hào)燈式的狀態(tài)指示
警告和報(bào)警點(diǎn)設(shè)置可編程
Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
(UHP) 超純氣體的管線檢測(cè)
濕度變送器Pura Plus技術(shù)參數(shù)
響應(yīng)速度 ：<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間
濕度量程 ：1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍 ：0 to 10 bar
耐壓等級(jí) ：300 bar
泄漏測(cè)試 ：0-9 mbar l/s
工作流量范圍：1 ~ 10 l/min
工作溫度 ：5 ~ 40°C
存儲(chǔ)溫度 ：30 ~ 70°C
電 源 ：20 ~ 28 V DC
功 耗 ：5 W 最大
外部保險(xiǎn)絲等級(jí)：500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出 ：Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報(bào)警輸出：2 路
最大電壓 ：40 V DC
最大電流 ：100 mA
外殼材質(zhì) ：不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu) ：氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層
內(nèi)部容積 ：4.4cm³
重 量 ：450g
氣路接口 ：1/4" m VCR
電氣接口 ：9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性 ：EN50081-2 和 EN50082-2
