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DGS03質(zhì)量流量控制系統(tǒng)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：微電子工藝設(shè)備、，如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。系統(tǒng)默認(rèn)配置為： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：數(shù)字。
∮主要技術(shù)參數(shù)：
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流量規(guī)格(N2)
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（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
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準(zhǔn)確度
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±1.0% S.P . (≥35% F.S.)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
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線性
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±0. 5% F.S.
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重復(fù)精度
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±0.2% F.S.
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工作壓差范圍（＜0.02MPa）
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0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格＞10SLM
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溫度系數(shù)
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零點(diǎn)：≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1FS/℃
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耐壓
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3MPa
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響應(yīng)時(shí)間
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≤2sec
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漏率
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1×10-10pa.m3/sec He
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密封材料
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氟橡膠; 氯丁橡膠
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工作環(huán)境溫度
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(5~45) ℃
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