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名　　稱：
柔性 MOCVD 系統(tǒng)采用基于 PC 的 控制技術打造模塊化設備
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14.67MB
上傳時間：
2021/1/26 16:16:20
Agnitron 利用 Agilis 兩用機開發(fā)了一套通過金屬有機物化學氣相淀積（MOCVD）技術制備半導體材料氧化鎵的系統(tǒng)。此外，該系統(tǒng)還能夠在需要時切換為其它材料。Agnitron 采用倍福基于 PC 的控制技術，確保滿足用戶在研發(fā)中小型生產(chǎn)設備時所需的高可靠性和靈活的可擴展性。
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