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立足“芯”發(fā)展 臺達科技力量助力半導體邁向精益智造
2023/7/28 17:46:52
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聚焦半導體制程中的關(guān)鍵工藝,臺達充分發(fā)揮深耕工業(yè)自動化的經(jīng)驗與優(yōu)勢,提升制程設(shè)備的效率,優(yōu)化設(shè)備的控制、驅(qū)動及執(zhí)行水平,全面提升設(shè)備的生產(chǎn)品質(zhì)和效率,實現(xiàn)半導體產(chǎn)業(yè)的精益智造。

在近日舉辦的2023南京半導體大會上,臺達向現(xiàn)場專業(yè)觀眾展示了以工業(yè)自動化技術(shù)開發(fā)的多款半導體設(shè)備解決方案,助力半導體晶片的生產(chǎn)效率與質(zhì)量雙提升。

清洗機解決方案

通過控制器內(nèi)建的探針功能,快速同步實現(xiàn)精準控制,全面優(yōu)化清洗機運行效率;設(shè)備與上位系統(tǒng)無縫對接,提高設(shè)備管理的智能化水平。

晶圓取放解決方案

基于臺達機器人控制驅(qū)動一體機MS系列強大的控制性能,搭配取放手臂,重復(fù)定位精度可達±0.01mm,快速響應(yīng)晶圓手臂取放動作。

分選機解決方案

伺服驅(qū)動系統(tǒng)ASDA-A3提供軟著陸功能,搭配微型直線電機及運動控制軸卡,力控精確、響應(yīng)快速,改善IC分選機檢測準確度。

劃片機解決方案

EtherCAT總線軸卡搭配高慣量的伺服電機,動作快速且不振蕩;微型直線電機力量精準可控,降低觸發(fā)碰撞損壞的概率。

裸晶高速取放解決方案

內(nèi)建力量控制并兼具高速高精運動性能,滿足高精度及高響應(yīng)需求;龍門同動功能可達成雙直線電機共同驅(qū)動單一軸向運動提升CT及良率。

SECS/GEM解決方案

通過組態(tài)工具的設(shè)定和高度自動化的無縫整合,協(xié)助客戶迅速的將SECS/GEM 標準導入設(shè)備,解決底層設(shè)備繁多及信息整合不易等問題。

立足“芯”發(fā)展,恪守智能制造的本質(zhì),臺達不斷以創(chuàng)新的工業(yè)自動化技術(shù)助力半導體產(chǎn)業(yè)進行設(shè)備和產(chǎn)線的智能化改造升級,幫助企業(yè)降低成本,提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品品質(zhì),與半導體行業(yè)攜手推進產(chǎn)業(yè)發(fā)展!


 
 
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